成分  規(guī)范  單位 CH2F2 ≥   99.99%  %V N2    ≤   8 ppmv O2    ≤   2 ppmv CO2   ≤   5 ppmv H2O   ≤   5 ppmv 其它氟碳 ≤ 50 ppmv 酸度(HF)≤ 0.1 ppmw 包裝：2L、4L、8L、40L、鋁合金鋼瓶、碳鋼瓶等注：凡含SO2、H2S、NO2、Cl2、NH3、等具有腐蝕性和活性氣體組份標準氣都采用特殊處理氣瓶貯存，并統(tǒng)一采用不銹鋼瓶閥。