一氟甲烷 (CH3F) 成分  規(guī)范  單位 CH3F ≥  99.99%  %V N2   ≤  80 ppmv O2   ≤  20 ppmv H2O  ≤  10 ppmv 包裝：2L、4L、8L、40L、鋁合金鋼瓶、碳鋼瓶等注：凡含SO2、H2S、NO2、Cl2、NH3、等具有腐蝕性和活性氣體組份標(biāo)準(zhǔn)氣都采用特殊處理氣瓶貯存，并統(tǒng)一采用不銹鋼瓶閥。