應用：在離子植入中用作硼源（P摻雜）、用于外延生長 
容器：氣瓶
包裝：2L、4L、8L、40L、鋁合金鋼瓶、碳鋼瓶等注：凡含SO2、H2S、NO2、Cl2、NH3、等具有腐蝕性和活性氣體組份標準氣都采用特殊處理氣瓶貯存，并統(tǒng)一采用不銹鋼瓶閥。