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中國芯片原材料重大突破:高純度硅烷實現(xiàn)量產(chǎn) 12月21日,《中國科學(xué)報》報道,上海交通大學(xué)教授肖文德領(lǐng)銜研發(fā)的具有自主知識產(chǎn)權(quán)的硅烷大規(guī)模生產(chǎn)新技術(shù)600噸/年中試生產(chǎn)項目,在河南平煤神馬集團(tuán)試車成功,并已連續(xù)穩(wěn)定生產(chǎn)出純度大于99.9999%的高品質(zhì)硅烷產(chǎn)品。該項目的成功標(biāo)志著高純度硅烷大規(guī)模生產(chǎn)技術(shù)獲得突破。據(jù)了解,我國電子和大規(guī)模集成電路行業(yè)的芯片... |